白光干涉儀

特點

• 高精密的亞納米級分辨率；
• 快速測量；
• 二維表面分析和測量評價；
• 地形三維表面分析和測量評價；
• 光學表面測量；
• 顯微鏡視野下可以通過全自動的拼接程序輕易地放大。

優勢:

• 地形、高度、形狀和位置的測量；
• 更大的量程，通過完全自動化的拼接；
• 視頻實時掃描的技術達到快速可靠的結果；
• 微觀技術致力于將微小的表面特征展示到物理極限；
• 高分辨率，甚至是微小的表面細節展示都極好；
• 基板用花崗巖制成的底座和柱，免維護、穩固的結構；
• 表面掃描傳感器最適合于快速測量最小到中等尺寸的表面細節；
• 在單個圖像和大范圍的區域多位置和多任務測量是完全自動化的。

應用領域

• 質量控制和研發
• 機械工程與材料科學
• 半導體行業
• 光學行業
• 醫學技術

光學表面的快速和精確粗糙度測量

白光干涉評估:

• PV(Pt)
• RMS(Rq)
• Ra
• Rz
• 和其他粗糙度參數